箱體結(jié)構(gòu)特征外殼材料采用質(zhì)量鋼板，焊接折彎制作。內(nèi)膽材料采用質(zhì)量不銹鋼SUS201#板，焊接折彎制作。箱體骨架1.采用角鐵加強(qiáng)制作，保持箱體內(nèi)外各個面的承載強(qiáng)度；2.保留熱脹冷縮系數(shù)，可防止箱體變形。保溫材料采用100K加密型硅酸鋁保溫棉，具有不可燃燒，隔熱性強(qiáng)等特點，厚度為100mm。密封材料密封條采用硅膠條制作，可耐溫不變形。換氣裝置箱體上部設(shè)有進(jìn)氣口、排氣口，口徑為75mm”。門手動雙開門，兩側(cè)安裝鍍鉻加強(qiáng)型合頁，可防止門下垂，操作方便。電控箱電控箱安裝在箱體右側(cè)，方便操作。凹槽烘箱底部設(shè)置平板，可同時放置2部小車，方便小車進(jìn)出烘箱。主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。虎丘區(qū)半導(dǎo)體工業(yè)烤箱出售

尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設(shè)備配置試驗室用電源設(shè)備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運(yùn)行的范圍為±10%）（2）最大負(fù)荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應(yīng)大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡(luò)路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監(jiān)控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機(jī)臺拋檔使用TXT格式，數(shù)據(jù)：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開始時間、結(jié)束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機(jī)臺上的高度/備注cassette放置于設(shè)備前方或左右側(cè)）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調(diào)檔：（當(dāng)cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執(zhí)行）軟件支持SEMI自動化標(biāo)準(zhǔn)SECS/GEM通訊接口無錫省電工業(yè)烤箱維修網(wǎng)鏈?zhǔn)竭€原氣氛隧道爐。

第二部分、烘烤爐技術(shù)性能說明四:輸送系統(tǒng)線體技術(shù)規(guī)格烤爐側(cè)上下循環(huán)主輸送線：37017L*1777.8W*800-1280H數(shù)量:1條1、輸送線支架焊接框架結(jié)構(gòu)，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導(dǎo)向輪邊，直徑120MM,滾筒間距266.7MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、烤爐內(nèi)輸送寬度:810MM,滾筒總長約1631MM;8、烤爐內(nèi)滾筒線動力按照6米段分布，共分為6段動力;9、動力采用0.37KW齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動，動力布置在烤爐外側(cè);10、電機(jī)使用歐邦/東元馬達(dá)，馬達(dá)配套減速機(jī)使用。11、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調(diào)速。下圖為烤爐側(cè)滾筒線的端面圖（含烤爐爐體）

二、送風(fēng)系統(tǒng)1.送風(fēng)方式：強(qiáng)制水平送風(fēng)循環(huán)2.鼓風(fēng)電機(jī)：中國臺灣產(chǎn)長軸電機(jī)1HP380V4P配無塵多翼式耐高溫風(fēng)輪10.5”各2套,可通過變頻調(diào)整風(fēng)量3.內(nèi)裝有可調(diào)導(dǎo)流風(fēng)板4.頂部加220V抽風(fēng)機(jī)三、無塵系統(tǒng)1.無塵等級：100級2.進(jìn)氣口附耐高溫過濾網(wǎng)99.93%效率0.3微米，并附壓差計，監(jiān)測過濾器使用狀況。四、精度1.溫度范圍：室溫～200℃2.溫度波動度：±1℃3.溫度均勻度：±5℃（空箱測試）五、溫控系統(tǒng)1.控制方式：PID+SSR(固態(tài)繼電器)出力2.加熱器材質(zhì)：無塵用散熱管形不銹鋼電熱器3.溫度控制器：日本富士微電腦自動演算2組8段程序控制器*按鍵設(shè)定式數(shù)據(jù)輸入*溫度范圍依測試體而不同*PID動作及自動演算功能4.測溫體：K型感溫組件，測溫精確熱處理高溫?zé)犸L(fēng)循環(huán)烤箱。

四、設(shè)備說明及結(jié)構(gòu)設(shè)計1、工作原理步進(jìn)式砂芯烘烤爐採用風(fēng)路佈置管道的方式，即通過風(fēng)機(jī)將外部新鮮空氣經(jīng)燃?xì)馊紵龣C(jī)加熱後，送到預(yù)先佈設(shè)的加熱風(fēng)管，熱空氣進(jìn)入到烘烤爐內(nèi)，自頂部吹進(jìn)烘烤爐，除吸進(jìn)少量新鮮空氣外，絕大部分熱空氣通過迴圈被繼續(xù)加熱利用，送入到烘烤爐內(nèi)部，使得烘烤爐內(nèi)溫度逐步升高，當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定溫度時，燃?xì)馊紵龣C(jī)自動調(diào)節(jié)大小火，使烤房內(nèi)溫度保持恒定。2設(shè)備總成l本烘烤爐的烘乾功能，且烘乾時具有自動升溫、恒溫定時、以及具有運(yùn)風(fēng)。該設(shè)備由爐體、迴圈風(fēng)機(jī)系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、安全系統(tǒng)及電控系統(tǒng)等組成。（選配：過濾系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)）3設(shè)備說明3.1烘烤爐系統(tǒng)：烘烤爐主體材料必須具有保溫性能好，密封性能優(yōu)越的優(yōu)點。3.1.1烘烤爐保溫結(jié)構(gòu)的側(cè)板和頂板外板均為鋼板，用型鋼做骨架保證室體的強(qiáng)度。烘烤爐壁板選用複合巖棉保溫板，板厚150mm，室體底部採用巖棉上設(shè)高品質(zhì)耐溫鍍鋅板。其內(nèi)外面層為彩鍍鋼板，中間填充巖棉保溫材料，整體結(jié)構(gòu)牢固可靠、外形美觀、保溫效果好，不會因受熱而發(fā)生形變，設(shè)備使用壽命長。3.1.2結(jié)構(gòu)裝置：烘烤爐為通過式，多層結(jié)構(gòu)，在烘烤爐的二端設(shè)閘門，很大程度節(jié)能，降低成本，材料與側(cè)板同質(zhì)。鏈網(wǎng)穿桿輸送隧道爐?；窗残詢r比高工業(yè)烤箱

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4、技術(shù)參數(shù)：序號項目單位規(guī)格1砂芯烘乾烤爐結(jié)構(gòu)型式1座多層通過式2加熱能源，正英20萬大卡天然氣3工件加熱方式熱風(fēng)4送風(fēng)方式不可調(diào)節(jié)風(fēng)管運(yùn)風(fēng)5烘乾時間min90(可調(diào))6總功率55Kw依據(jù)設(shè)計圖紙7有載升溫速度（20→150℃）min<508烘乾溫度℃環(huán)境溫度～150（可調(diào)）9溫度控制方式honeywell多組PID自動獨立控制10廢氣處理方式活性炭吸附(選配)11傳動方式大功率傳動座12溫度控制honeywell數(shù)位式和機(jī)械式溫控儀13噪音dB（A）≤8514迴圈風(fēng)量m3/h依據(jù)設(shè)計圖紙五、配套設(shè)施說明：1.設(shè)備土建基礎(chǔ)設(shè)施由甲方負(fù)責(zé)，乙方提供設(shè)備基礎(chǔ)圖紙。2.甲方負(fù)責(zé)施工現(xiàn)場的水電氣配套工作。3.甲方負(fù)責(zé)設(shè)備調(diào)試前把電、壓縮空氣、水等接到各設(shè)備用電、用氣點及用水點上，並派專人協(xié)調(diào)安裝調(diào)試工作。6.設(shè)備移交時，乙方需提供產(chǎn)品說明書、等技術(shù)資料。7.乙方負(fù)責(zé)無償培訓(xùn)甲方安排的操作維護(hù)人員至能正常操作及維護(hù)所提供設(shè)備。8.以上規(guī)化是設(shè)計構(gòu)思，具體定案后以圖紙和雙方負(fù)責(zé)人確定規(guī)格為準(zhǔn)。六、優(yōu)化改善：1.側(cè)拉式閘門（配啟用開關(guān)）2.電控：人機(jī)+PLC（規(guī)範(fàn)配電）3.獨立電櫃厚板1.5T，IP54標(biāo)準(zhǔn)（防塵設(shè)計），雙門設(shè)計?；⑶饏^(qū)半導(dǎo)體工業(yè)烤箱出售

昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司成立于2014-08-20年，在此之前我們已在工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗，深受經(jīng)銷商和客戶的好評。我們從一個名不見經(jīng)傳的小公司，慢慢的適應(yīng)了市場的需求，得到了越來越多的客戶認(rèn)可。公司現(xiàn)在主要提供工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等業(yè)務(wù)，從業(yè)人員均有工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行內(nèi)多年經(jīng)驗。公司員工技術(shù)嫻熟、責(zé)任心強(qiáng)。公司秉承客戶是上帝的原則，急客戶所急，想客戶所想，熱情服務(wù)。公司會針對不同客戶的要求，不斷研發(fā)和開發(fā)適合市場需求、客戶需求的產(chǎn)品。公司產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域廣，實用性強(qiáng)，得到工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐客戶支持和信賴。HOTTSP秉承著誠信服務(wù)、產(chǎn)品求新的經(jīng)營原則，對于員工素質(zhì)有嚴(yán)格的把控和要求，為工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行業(yè)用戶提供完善的售前和售后服務(wù)。

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